石英管洗浄機

Quartz-Tube Cleaner Series

半導体製造プロセスに不可欠な石英管を、優しく安全に自動洗浄いたします。
シーケンス選択により、効率的な水洗が可能です。
石英炉心管を回転洗浄により、均一な洗浄を行います。
HEPA(ULPA)フィルター、薬液供給機能の搭載が可能です。
石英炉心管、石英冶具を専用バスケットにより、薬液洗浄、水洗を自動的に処理します。

石英管洗浄機 SEO700

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内部

寸法図

ケミカルプロセスのベストパートナー　大和工業グループ

仕様詳細は打ち合わせにより決定致します。何なりと御相談下さい。