薬液供給ユニット

Chemical Supply Unit Series

半導体製造装置にて、薬液処理を行う装置への薬液供給をいたします。
本体内にポリタンクを設置し、ポンプ圧送にて送液します。
供給方法はポンプ、N2圧送等が選択可能です。

薬液供給ユニット YKO300

YKO300
上部パネル詳細

寸法図

ケミカルプロセスのベストパートナー　大和工業グループ

仕様詳細は打ち合わせにより決定致します。何なりと御相談下さい。